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通訳翻訳メモ


by hirobek

成膜装置

アースシールド板  接地屏蔽板
アダプター     转接器
粗引ポンプ    低真空泵
アルゴンガス    氩气
インシュレーター  绝缘体
永久磁石      永磁体
エロージョン     侵蚀
カソードマウント   阴极支架
活性化        激活
荷電粒子      带电粒子
基盤ホルダ     基板托架
キャリア       托架
グリット電極     栅极
グロー放電      辉光放电
コイル         线圈
勾配          梯度
シートプラズマ   片状等离子体
シールド板     屏蔽板

衝突エネルギ    轰击能量
磁界         磁场
磁石         磁体
磁束         磁通
磁束分布      磁通分布

真空引き      抽真空
スパッタリング   溅射 
スペーサー     衬垫
スリット状      狭缝状
ソースプラズマ   源等离子体
ターゲット      靶 , 靶材
ターゲットホルダー  靶支架
チタン        钛
チャンバ       腔室
筒状部材      筒状构件
バイアス電压 偏压
バイアス電源         偏置电源
バッキングプレート      背垫板
半導体デバイス      半导体器件
フィードバック制御      反馈控制
フィードフォワード制御    前馈控制
フランジ            凸缘
ブラケット      托架
プラズマ      等离子
プラズマガン    等离子体枪
プラズマビーム      等离子束
フロントランプ    前照灯
ヘキサメチルジオキシサン  六甲基二硅醚硅氧烷
ベクトル        矢量
ボトルネック部    瓶颈部
ポリマー       聚合体
巻線         绕线 绕组
マグネトロン      磁控
マグネトロンスパッタリング   磁控管溅射
メタル         轴承衬瓦
ヨーク部        轭部
ラジカル重合     游离基聚合
リフレクター    反射器
枠体         框体
by hirobek | 2008-05-14 10:08 | Patent