成膜装置

アースシールド板  接地屏蔽板
アダプター     转接器
粗引ポンプ    低真空泵
アルゴンガス    氩气
インシュレーター  绝缘体
永久磁石      永磁体
エロージョン     侵蚀
カソードマウント   阴极支架
活性化        激活
荷電粒子      带电粒子
基盤ホルダ     基板托架
キャリア       托架
グリット電極     栅极
グロー放電      辉光放电
コイル         线圈
勾配          梯度
シートプラズマ   片状等离子体
シールド板     屏蔽板

衝突エネルギ    轰击能量
磁界         磁场
磁石         磁体
磁束         磁通
磁束分布      磁通分布

真空引き      抽真空
スパッタリング   溅射 
スペーサー     衬垫
スリット状      狭缝状
ソースプラズマ   源等离子体
ターゲット      靶 , 靶材
ターゲットホルダー  靶支架
チタン        钛
チャンバ       腔室
筒状部材      筒状构件
バイアス電压 偏压
バイアス電源         偏置电源
バッキングプレート      背垫板
半導体デバイス      半导体器件
フィードバック制御      反馈控制
フィードフォワード制御    前馈控制
フランジ            凸缘
ブラケット      托架
プラズマ      等离子
プラズマガン    等离子体枪
プラズマビーム      等离子束
フロントランプ    前照灯
ヘキサメチルジオキシサン  六甲基二硅醚硅氧烷
ベクトル        矢量
ボトルネック部    瓶颈部
ポリマー       聚合体
巻線         绕线 绕组
マグネトロン      磁控
マグネトロンスパッタリング   磁控管溅射
メタル         轴承衬瓦
ヨーク部        轭部
ラジカル重合     游离基聚合
リフレクター    反射器
枠体         框体
by hirobek | 2008-05-14 10:08 | Patent