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真空処理用チャンバ

壁部材  壁构件
基材 基体
磁性流体    磁流体
スパッタリング  溅射
ターゲット   靶
段差面    阶梯面
チャンバ    腔室
天板      顶板
突き合わせで接合  对接接合
ヒーター    発熱体
フランジ    法兰
マグネット   磁体
溝部      槽部
ロードロック  负载锁定
by hirobek | 2007-09-13 10:18 | Patent