真空処理用チャンバ
2007年 09月 13日
壁部材 壁构件
基材 基体
磁性流体 磁流体
スパッタリング 溅射
ターゲット 靶
段差面 阶梯面
チャンバ 腔室
天板 顶板
突き合わせで接合 对接接合
ヒーター 発熱体
フランジ 法兰
マグネット 磁体
溝部 槽部
ロードロック 负载锁定
基材 基体
磁性流体 磁流体
スパッタリング 溅射
ターゲット 靶
段差面 阶梯面
チャンバ 腔室
天板 顶板
突き合わせで接合 对接接合
ヒーター 発熱体
フランジ 法兰
マグネット 磁体
溝部 槽部
ロードロック 负载锁定
by hirobek
| 2007-09-13 10:18
| Patent