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マグネトロンスパッタリング装置 磁控管溅射装置

エロージョン    侵蚀
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コンター        等高图
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衝突エネルギー   碰撞能量
ゼロクロス位置    零交叉位置       
互いに打ち消す   互相抵消
バッキング      背板
フェライト       铁氧体
ヨーク         轭铁 yoke
ローレンツ力    洛伦茲力
ワイドエロージョン   充分侵蚀 均匀侵蚀
by hirobek | 2008-04-17 09:33 | Patent